液晶面板产线烘烤轮OVN排气改造

客户烘烤炉用于制程玻璃基板的烘烤定型，在烘烤过程中烘烤轮内温度会达到120度之高，产生大量的光刻胶挥发物，此类物质粘稠异常，如不及时排出腔体会残留在玻璃基板表面或者设备腔体内壁，长期累积会形成积垢类物质，一旦脱落必然会造成玻璃基板的污损，从而严重影响产品良率和不良枚数，所以客户决定对设备排气进行改造，以增加排出挥发物的能力；

堪御智维驻厂工程师根据客户改造需求，提出我们自己的初步改造方案。增加腔体排气的能力必然要求增加终端的吸排能力，在目前工厂动力侧排气管道吸排能力固定的情况下，我们提出的方案包括：增加烘烤腔体的吸排端口从2路增加到4路，将原集气腔扩大体积和密封性，另外提供增设一路新排气风机的建议，可以在动力系统吸排能力固定的情况下额外增加了排气能力和管道；

经过与客户方部门讨论最终确定方案：

1. 更换原排气高温管道；

2. 增加腔体内排气管道数量到4路；

3. 原集气箱重新改造为可拆卸式，以方便定期保养清理；

4. 新增一路排气管路，增加一只排风机直通动力侧主排气管道；

在排风机前加装集气及转换管路；