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精密清洗干燥系统
清洗杂质千千万,洗净方案响当当
二流体清洗
・精密清洗极细至1-3um的微粒。
・全面分布及优异的喷射均匀性。・可在接近基板表面喷射提高洗净效果。
超声波清洗
1.根据清洗件定做清洗槽体,水槽式/滚篮式/升降沉浸式等;
2.国内前三换能器陶瓷件,确保核心部件品质
高压清洗
1.核心轴承采用进口大载荷容量轴承
2.环形游隙(0.02-0.06mm)保证最优输出效率
2.使用时数可达一万小时,极大减少维保作业