• 精密清洗干燥系统

    清洗杂质千千万,洗净方案响当当

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    二流体清洗

    ・精密清洗极细至1-3um的微粒。

    ・全面分布及优异的喷射均匀性。
    ・可在接近基板表面喷射提高洗净效果。

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    超声波清洗

    1.根据清洗件定做清洗槽体,水槽式/滚篮式/升降沉浸式等;

    2.国内前三换能器陶瓷件,确保核心部件品质

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    高压清洗

    1.核心轴承采用进口大载荷容量轴承

    2.环形游隙(0.02-0.06mm)保证最优输出效率

    2.使用时数可达一万小时,极大减少维保作业